LENSCAN
主要特色
LENSCAN系统允许直接测量沿光轴的组件内所有光学元件（透镜,立方体,平面…等）的位置和中心厚度。
它被主要光学设备制造商用于设计和制造过程的所有步骤,在节省时间和质量评估方面提供了巨大的好处。
LENSCAN可以集成到计量站中,用于研发或制造质量控制,并可针对广泛的应用进行定制：
- 测量精度从0.15到1.0微米
- 测量范围从5mm到600mm
- 具有可变光斑尺寸和数值孔径的测量头准直器
- LENSCAN软件可自定义Recipe设置和报告
主要优势
- 镜头组件：LENSCAN控制镜头组件内镜头之间的中心气隙。它允许识别组件内的质量问题,从而允许快速校正过程。它可以测量组件内所有层的气隙,厚度,还可以检测对齐和倾斜问题。
- 镜头定心和装配过程集成：LENSCAN可以安装在镜头定心和安装工位,以便在装配过程中实现气隙和厚度控制。由于LENSCAN在整个测量范围内保证了高测量精度,因此光刻和相机镜头制造商将这些集成系统用作标准计量解决方案。
- 夹层玻璃：LENSCAN控制夹层玻璃内的玻璃和聚合物层厚度，可以非常精确地控制表面的厚度。
- 光学元件：LENSCAN可以控制单透镜和复杂的光学元件,如棱镜，双合透镜等。
- 显微镜：LENSCAN定制工作范围允许控制任何大型光学系统，具有出色的测量精度。
规格
LENSCAN软件功能：
- 样品设置和定义,包含大量已知光学材料
- 自动模式匹配
- 准确性/重复性测试
- 测量批次统计
- 监测环境条件以确保内部延迟线的精确光学指数计算
- 具有高精度厚度标准的特定线性校准程序,在整个系统范围内进行测试
- 电动准直器的最佳聚焦设置向导（可选配）
- 使用公差加载/保存预定义的测量Recipe
- 单按钮配方控制
- GO / NO GO验证指标
- 输出PDF和文本报告文件
技术
LENSCAN基于LISE红外干涉测量传感器,由领先的客户端用于控制。超高精度光学系统它确保一次性测量组件内的所有光学接口。
高稳定性机械,特定校准程序,内部热探针的使用和精确的指数计算使系统在工作范围内具有高精度。
配备
基本配备：
- LENSCAN控制器（LS40，LS200，LS / LI600或定制型号）
- 分离的延迟线（适用于长工作范围型号）
- 光纤和准直器,可在一系列型号中选择,以获得不同的角度接受和工作距离（见下文）
- LENSCAN软件和电脑
选配：
- 多个频道（最多4个）
- DLL库,用于集成到第三方软件中
- X / Y工作台，带倾斜/倾斜控制的准直器支架。
文档