LENSCAN
主要特色
LENSCAN系統允許直接測量沿光軸的組件內所有光學元件（透鏡,立方體,平面…等）的位置和中心厚度。
它被主要光學設備製造商用於設計和製造過程的所有步驟,在節省時間和質量評估方面提供了巨大的好處。
LENSCAN可以集成到計量站中,用於研發或製造質量控制,並可針對廣泛的應用進行定制：
- 測量精度從0.15到1.0微米
- 測量範圍從5mm到600mm
- 具有可變光斑尺寸和數值孔徑的測量頭准直器
- LENSCAN軟體可自定義配方設置和報告
主要優勢
- 鏡頭組件：LENSCAN控製鏡頭組件內鏡頭之間的中心氣隙。它允許識別組件內的質量問題,從而允許快速校正過程。它可以測量組件內所有層的氣隙,厚度,還可以檢測對齊和傾斜問題。
- 鏡頭定心和裝配過程集成：LENSCAN可以安裝在鏡頭定心和安裝工位,以便在裝配過程中實現氣隙和厚度控制。由於LENSCAN在整個測量範圍內保證了高測量精度,因此光刻和相機鏡頭製造商將這些集成系統用作標準計量解決方案。
- 夾層玻璃：LENSCAN控制夾層玻璃內的玻璃和聚合物層厚度，可以非常精確地控製表面的厚度。
- 光學元件：LENSCAN可以控制單透鏡和復雜的光學元件,如棱鏡，雙合透鏡等。
- 顯微鏡：LENSCAN定制工作範圍允許控制任何大型光學系統，具有出色的測量精度。
規格
LENSCAN軟體功能：
- 樣品設置和定義,包含大量已知光學材料
- 自動模式匹配
- 準確性/重複性測試
- 測量批次統計
- 監測環境條件以確保內部延遲線的精確光學指數計算
- 具有高精度厚度標準的特定線性校準程序,在整個系統範圍內進行測試
- 電動准直器的最佳聚焦設置嚮導（可選配）
- 使用公差加載/保存預定義的測量配方
- 單按鈕配方控制
- GO / NO GO驗證指標
- 輸出PDF和文本報告文件
技術
LENSCAN基於LISE紅外干涉測量傳感器,由領先的客戶端用於控制。超高精度光學系統它確保一次性測量組件內的所有光學接口。
高穩定性機械,特定校準程序,內部熱探針的使用和精確的指數計算使系統在工作範圍內具有高精度。
配備
基本配備：
- LENSCAN控制器（LS40，LS200，LS / LI600或定制型號）
- 分離的延遲線（適用於長工作範圍型號）
- 光纖和准直器,可在一系列型號中選擇,以獲得不同的角度接受和工作距離（見下文）
- LENSCAN軟體和電腦
選配：
- 多個頻道（最多4個）
- DLL庫,用於集成到第三方軟件中
- X / Y工作台，帶傾斜/傾斜控制的准直器支架。
文檔